一种毫米波双面晶圆的自动化三维测试系统
杨进, 张君直, 朱健, 黄旼, 郁元卫, 闫樊钰慧, 王留宝
An Automated Three‑dimensional Test System for Millimeter Wave Double‑sided Wafer
YANG Jin, ZHANG Junzhi, ZHU Jian, HUANG Min, YU Yuanwei, YAN Fanyuhui, WANG Liubao
固体电子学研究与进展
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2025, (1): 10501
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DOI: 10.12450/j.gtdzx.202501013
