毫米波/太赫兹MEMS开关研究及技术进展
张博, 李依桐, 张乃柏, 宋瑞良, 邓琨, 杨光耀, 刘军
Research and Technological Progress of Millimeter Wave/Terahertz MEMS Switches
ZHANG Bo, LI Yitong, ZHANG Naibo, SONG Ruiliang, DENG Kun, YANG Guangyao, LIU Jun
固体电子学研究与进展
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2025, (1): 0
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DOI: 10.12450/j.gtdzx.202501005
