15 kV/10 A SiC 功率MOSFET器件设计及制备<sup>*</sup>

李士颜, 杨晓磊, 黄润华, 汤伟, 赵志飞, 柏松

Simulation and Fabrication of 15 kV/ 10 A SiC Power MOSFET

LI Shiyan, YANG Xiaolei, HUANG Runhua, TANG Wei, ZHAO Zhifei, BAI Song

固体电子学研究与进展 . 2021, (2): 93 -97 .