电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性<sup>∗</sup>

电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性^∗

霍志胜, 蒲红斌, 李维勤

Electron Beam Induced Conductivity of the Dielectric and Polymer Films

HUO Zhisheng, PU Hongbin, LI Weiqin

固体电子学研究与进展 . 2020, (2): 87 -93 .