基于玻璃衬底的三维电感器件的仿真与实现<sup>*</sup>

基于玻璃衬底的三维电感器件的仿真与实现^*

王磊, 惠科晴, 薛恺, 姜峰, 于大全

Simulation and Fabrication of 3D Inductors Based on Glass Substrate

WANG Lei, HUI Keqing, XUE Kai, JIANG Feng, YU Daquan

固体电子学研究与进展 . 2021, (6): 419 -424 .