异质互连通孔等效电路模型及其特性分析<sup>*</sup>

异质互连通孔等效电路模型及其特性分析^*

赵冉冉, 张玉明, 吕红亮, 程伟

Electrical Modeling and Characterization of Heterogeneous Interconnect Via

ZHAO Ranran, ZHANG Yuming, LÜ Hongliang, CHENG Wei

固体电子学研究与进展 . 2021, (6): 413 -418 .