太赫兹GaN SBD外延材料的应力调控及低缺陷密度控制技术研究
李传皓, 李忠辉, 彭大青, 王克超, 杨乾坤, 张东国
Study of Strain Modulation and Low Density of Defects in Control for Terahertz GaN SBD Epitaxy
LI Chuanhao, LI Zhonghui, PENG Daqing, WANG Kechao, YANG Qiankun, ZHANG Dongguo
固体电子学研究与进展
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2024, (5): 425
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DOI: 10.12450/j.gtdzx.202405010
