基于DRIE的太赫兹行波管硅基低损耗慢波结构工艺技术研究
吴杰, 杨扬, 刘欣, 严可, 郑源, 冯堃, 王政焱, 姜理利, 黄旼, 李忠辉, 朱健, 陈堂胜
Research on Si‑based Low‑loss Slow‑wave Structures for THz TWT Fabricated by DRIE Technology
WU Jie, YANG Yang, LIU Xin, YAN Ke, ZHENG Yuan, FENG Kun, WANG Zhengyan, JIANG Lili, HUANG Min, LI Zhonghui, ZHU Jian, CHEN Tangsheng
固体电子学研究与进展
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2024, (5): 369
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DOI: 10.12450/j.gtdzx.202405001
