GaAs集成电路的金属化缺陷失效定位研究<sup>*</sup>

刘丽媛, 郑林挺, 石高明, 林晓玲, 来萍, 陈选龙

Study on Metal Defect Failure Localization of GaAs IC

LIU Liyuan, ZHENG Linting, SHI Gaoming, LIN Xiaoling, LAI Ping, CHEN Xuanlong

固体电子学研究与进展 . 2022, (2): 146 -149 .