软印刷法便捷制备非晶Zn-Sn-O场效应晶体管<sup>*</sup>

软印刷法便捷制备非晶Zn-Sn-O场效应晶体管^*

杜晓松, 沈秋华

Facile Fabrication of Amorphous Zn-Sn-O FET via Soft Lithography

DU Xiaosong, SHEN Qiuhua

固体电子学研究与进展 . 2022, (1): 33 -37 .