交叉深沟槽硅外延的生长研究
倪立华, 范晓, 王函, 张召, 李佳龙
Study on Silicon Epitaxial Growth inside Grid-shaped Deep Trench
NI Lihua, FAN Xiao, WANG Han, ZHANG Zhao, LI Jialong
固体电子学研究与进展 . 2022, (6): 515 -520 . 

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