少层氮化硼的生长机理及技术研究

李传皓, 李忠辉, 彭大青, 张东国, 杨乾坤, 潘传奇, 沈睿

Mechanism and Technique Studies on Few-layer Boron Nitride Growth

LI Chuanhao, LI Zhonghui, PENG Daqing, ZHANG Dongguo, YANG Qiankun, PAN Chuanqi, SHEN Rui

固体电子学研究与进展 . 2022, (6): 510 -514 .