静电微执行器拓宽行程范围技术的研究进展*

费宏欣, 方玉明, 吴旭鹏, 蔡滕, 赵江, 李若舟

Review of Technology for Extending the Travel Range of Electrostatic Micro-actuator

FEI Hongxin, FANG yuming, WU Xupeng, CAI Teng, ZHAO Jiang, LI Ruozhou

固体电子学研究与进展 . 2022, (5): 405 -411 .