铂电极的电感耦合等离子体刻蚀工艺研究
宋琳, 周燕萍, 左超, 上村隆一郎, 杨秉君
A Study on Inductively Coupled Plasma Etching Process of Platinum Electrode
SONG Lin, ZHOU Yanping, ZUO Chao, KAMIMURA Ryuuichirou, YANG Bingjun
固体电子学研究与进展
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2024, (3): 264
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DOI: 10.12450/j.gtdzx.202403014
