用于GaN CMOS集成技术的p型GaN欧姆接触研究
潘传奇, 王登贵, 周建军, 胡壮壮, 严张哲, 郁鑫鑫, 李忠辉, 陈堂胜
Study of Ohmic Contacts to p‑type GaN for GaN CMOS Technology
PAN Chuanqi, WANG Denggui, ZHOU Jianjun, HU Zhuangzhuang, YAN Zhangzhe, YU Xinxin, LI Zhonghui, CHEN Tangsheng
固体电子学研究与进展
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2024, (3): 196
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DOI: 10.12450/j.gtdzx.202403002