高温退火对AlN外延材料晶体质量的影响
罗伟科, 王翼, 李亮, 李传皓, 张东国, 杨乾坤, 彭大青, 李忠辉
Influence of High Temperature Annealing on the Crystal Quality of AlN Epitaxial Layers
LUO Weike, WANG Yi, LI Liang, LI Chuanhao, ZHANG Dongguo, YANG Qiankun, PENG Daqing, LI Zhonghui
固体电子学研究与进展
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2024, (2): 167
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DOI: 10.12450/j.gtdzx.202402012
