金属功函数波动效应快速预测方法及验证

李怡宁, 杨兰兰, 屠彦

Method of Rapid Prediction about Metal Gate Workfunction Variability Effect and Its Verification

LI Yining, YANG Lanlan, Tu Yan

固体电子学研究与进展 . 2024, (1): 65 -71 . DOI: 10.12450/j.gtdzx.202401012