射频三维微纳集成技术
朱健 郁元卫 刘鹏飞 黄旼 陈辰
RF 3D Micro‑nano Integration Technology
ZHU Jian YU Yuanwei LIU Pengfei HUANG Min CHEN Chen
固体电子学研究与进展 . 2023, (2): 101 -107 . 

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