栅控二极管ESD工艺优化方法研究
贺琪, 赵晓松, 张庆东, 顾祥, 赵杨婧
Study on ESD Process Optimization Method of Gate-controlled Diode
HE Qi, ZHAO Xiaosong, ZHANG Qingdong, GU Xiang, ZHAO Yangjing
固体电子学研究与进展 . 2023, (4): 366 -369 . 

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