一种晶圆级封装的MEMS数控衰减器

孙俊峰, 姜理利, 刘水平, 郁元卫, 朱健, 黎明, 陈章余

A Wafer-level Packaged MEMS Digital Attenuator

SUN Junfeng, JIANG Lili, LIU Shuiping, YU Yuanwei, ZHU Jian, LI Ming, CHEN Zhangyu

固体电子学研究与进展 . 2023, (4): 353 -358 .