150 nm FDSOI器件的背栅NBTI效应研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (6) : 552-556.

材料与工艺

150 nm FDSOI器件的背栅NBTI效应研究

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Study on NBTI of Back‑gate of 150 nm FDSOI

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收稿日期	修回日期	出版日期
2023-08-24	2023-10-31	2023-12-27
发布日期
2023-12-25

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