基于掺钪氮化铝FBAR的滤波器设计研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (6) : 503-509.

射频微波与太赫兹

基于掺钪氮化铝FBAR的滤波器设计研究

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Design and Research of Filter Based on Scandium Aluminum Nitride‑based FBAR

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收稿日期	修回日期	出版日期
2023-07-05	2023-09-11	2023-12-27
发布日期
2023-12-25

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