UTBB SOI MOSFETs短沟道效应抑制技术

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固体电子学研究与进展 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (5) : 392-400.

器件物理与器件模拟

UTBB SOI MOSFETs短沟道效应抑制技术

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Suppression Technology of Short⁃channel Effects in UTBB SOI MOSFETs

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收稿日期	修回日期	出版日期
2023-03-14	2023-07-10	2023-10-25
发布日期
2023-10-25

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