一种晶圆级封装的MEMS数控衰减器

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固体电子学研究与进展 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (4) : 353-358.

微纳米技术

一种晶圆级封装的MEMS数控衰减器

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收稿日期	修回日期	出版日期
2023-04-19	2023-05-17	2023-08-25
发布日期
2023-09-27

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