交叉深沟槽硅外延的生长研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (6) : 515-520.

材料与工艺

交叉深沟槽硅外延的生长研究

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Study on Silicon Epitaxial Growth inside Grid-shaped Deep Trench

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2022-12-25
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2024-09-25

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