少层氮化硼的生长机理及技术研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (6) : 510-514.

材料与工艺

少层氮化硼的生长机理及技术研究

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Mechanism and Technique Studies on Few-layer Boron Nitride Growth

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收稿日期	修回日期	出版日期
2022-07-28	2022-09-27	2022-12-25
发布日期
2024-09-25

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