静电微执行器拓宽行程范围技术的研究进展<sup>&#x0002A;</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (5) : 405-411.

微纳米技术

静电微执行器拓宽行程范围技术的研究进展^*

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Review of Technology for Extending the Travel Range of Electrostatic Micro-actuator

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收稿日期	修回日期	出版日期
2022-04-18	2022-06-28	2022-10-25
发布日期
2024-09-25

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