分子束外延GaAs基M-HEMT与Si基HEMT材料研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (3) : 230-233.

材料与工艺

分子束外延GaAs基M-HEMT与Si基HEMT材料研究

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Study on Molecular Beam Epitaxy of GaAs M-HEMT and Si HEMT Materials

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-11-02	2021-12-03	2022-06-25
发布日期
2024-10-15

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