正晶向SiC衬底上表面光滑的N极性GaN薄膜材料的生长<sup>*</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (2) : 150-156.

材料与工艺

正晶向SiC衬底上表面光滑的N极性GaN薄膜材料的生长^*

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Growth of Smooth N-polar GaN Films on On-axis SiC Substrates

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-12-16	2022-02-24	2022-04-25
发布日期
2024-10-16

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