GaAs集成电路的金属化缺陷失效定位研究<sup>*</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (2) : 146-149.

材料与工艺

GaAs集成电路的金属化缺陷失效定位研究^*

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Study on Metal Defect Failure Localization of GaAs IC

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-07-08	2021-10-25	2022-04-25
发布日期
2024-10-16

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