重离子单粒子辐射对超薄栅氧化层可靠性影响分析

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (2) : 141-145.

硅微电子学

重离子单粒子辐射对超薄栅氧化层可靠性影响分析

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Influence of SEE with Heavy Ions on Reliability of Ultra-thin Gate Oxide Layer

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-07-08	2021-11-25	2022-04-25
发布日期
2024-10-16

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