碳酸胍和聚乙二醇对单晶硅片CMP的影响<sup>*</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (1) : 63-67.

材料与工艺

碳酸胍和聚乙二醇对单晶硅片CMP的影响^*

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Effect of Guanidine Carbonate and Polyethylene Glycol on CMP of Single Crystal Silicon Wafer

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-07-28	2021-09-27	2022-02-25
发布日期
2024-10-16

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