
固态源分子束外延生长碳掺杂InGaAs材料研究
于海龙, 高汉超, 王伟, 马奔, 尹志军, 李忠辉
固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (1) : 58-62.
固态源分子束外延生长碳掺杂InGaAs材料研究
Solid Source Molecular Beam Epitaxy of Carbon Doped InGaAs Materials
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