分层溅射法制备晶向可控的Mg<sub>2</sub>Si薄膜<sup>*</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (1) : 38-43.

光电子学

分层溅射法制备晶向可控的Mg₂Si薄膜^*

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Orientation-controlled Mg₂Si Films Fabricated by Layered Sputtering

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-06-08	2021-07-23	2022-02-25
发布日期
2024-10-16

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