基于玻璃衬底的三维电感器件的仿真与实现<sup>&#x0002A;</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (6) : 419-424.

三维集成射频微系统(专栏)

基于玻璃衬底的三维电感器件的仿真与实现^*

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Simulation and Fabrication of 3D Inductors Based on Glass Substrate

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-08-05	2021-08-26	2021-12-25
发布日期
2024-11-14

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