15 kV/10 A SiC 功率MOSFET器件设计及制备<sup>*</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (2) : 93-97.

宽禁带半导体

15 kV/10 A SiC 功率MOSFET器件设计及制备^*

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Simulation and Fabrication of 15 kV/ 10 A SiC Power MOSFET

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收稿日期	修回日期	出版日期
2020-08-17	2021-01-20	2021-04-25
发布日期
2024-12-09

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