22 nm体硅FinFET热载流子及总剂量效应研究<sup>∗</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2020, Vol. 40 ›› Issue (5) : 384-388.

材料与工艺

22 nm体硅FinFET热载流子及总剂量效应研究^∗

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Investigations on Hot Carrier Injection and Total Ionizing Dose Effect of 22 nm Bulk FinFET

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收稿日期	修回日期	出版日期
2020-03-03	2020-04-23	2020-10-25
发布日期
2024-11-19

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