
电子束蒸发工艺对MgF2薄膜光学性能的调制与分析∗
宋冠宇, 涂洁磊, 孙晓宇, 徐晓壮, 颜平远, 邓臣, 李亚楠
固体电子学研究与进展 ›› 2020, Vol. 40 ›› Issue (5) : 366-371.
电子束蒸发工艺对MgF2薄膜光学性能的调制与分析∗
Modulation and Analysis of Optical Properties of MgF2 Thin Films by Electron Beam Evaporation Process
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