电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性<sup>∗</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2020, Vol. 40 ›› Issue (2) : 87-93.

器件物理与器件模拟

电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性^∗

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Electron Beam Induced Conductivity of the Dielectric and Polymer Films

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收稿日期	修回日期	出版日期
2019-10-22	2019-11-13	2020-04-25
发布日期
2024-11-19

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