传导电磁干扰对绝缘衬底上硅工艺器件的影响研究<sup>∗</sup>

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固体电子学研究与进展 ›› 2020, Vol. 40 ›› Issue (2) : 149-153.

材料与工艺

传导电磁干扰对绝缘衬底上硅工艺器件的影响研究^∗

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Study on the Influence of Conducted Electromagnetic Interference on Devices of Silicon on Insulated Process

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收稿日期	修回日期	出版日期
2019-09-10	2019-10-25	2020-04-25
发布日期
2024-11-19

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