太赫兹GaN SBD外延材料的应力调控及低缺陷密度控制技术研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (5) : 425-429. DOI: 10.12450/j.gtdzx.202405010

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Study of Strain Modulation and Low Density of Defects in Control for Terahertz GaN SBD Epitaxy

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