基于DRIE的太赫兹行波管硅基低损耗慢波结构工艺技术研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (5) : 369-373. DOI: 10.12450/j.gtdzx.202405001

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Research on Si‑based Low‑loss Slow‑wave Structures for THz TWT Fabricated by DRIE Technology

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