铂电极的电感耦合等离子体刻蚀工艺研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (3) : 264-268. DOI: 10.12450/j.gtdzx.202403014

铂电极的电感耦合等离子体刻蚀工艺研究

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A Study on Inductively Coupled Plasma Etching Process of Platinum Electrode

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