基于Au/In键合的静电扭转微镜的设计与工艺研究

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固体电子学研究与进展 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (3) : 252-257. DOI: 10.12450/j.gtdzx.202403012

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Design and Process Study of Electrostatic Torsion Micromirror Based on Au/In Bonding

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