拉伸应变下SiC/SiO<sub>2</sub>近界面碳缺陷的结构和电学特性演变

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固体电子学研究与进展 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (3) : 206-212. DOI: 10.12450/j.gtdzx.202403004

拉伸应变下SiC/SiO₂近界面碳缺陷的结构和电学特性演变

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Effect of Tensile Strain on the Structure and Electronic Properties of Carbon Related Defects Near the SiC/SiO₂ Interface

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