高温退火对AlN外延材料晶体质量的影响

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固体电子学研究与进展 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (2) : 167-172. DOI: 10.12450/j.gtdzx.202402012

高温退火对AlN外延材料晶体质量的影响

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Influence of High Temperature Annealing on the Crystal Quality of AlN Epitaxial Layers

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