金属功函数波动效应快速预测方法及验证

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固体电子学研究与进展 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (1) : 65-71. DOI: 10.12450/j.gtdzx.202401012

金属功函数波动效应快速预测方法及验证

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Method of Rapid Prediction about Metal Gate Workfunction Variability Effect and Its Verification

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